Toppan Photomask和EV Group达成合作

国际商业新闻[International Business News] – 全球首屈一指的光罩供应商Toppan Photomask Co. Ltd.和为MEMS、纳米技术和半导体市场提供晶圆键合和光刻设备的领先供应商EV Group(简称EVG)今天宣布,两家公司已达成协议,共同推广光电产业的赋能大批量制造( HVM)工艺—纳米压印光刻技术(NIL)。

此次合作将NIL系统的领先供应商和开创者与半导体市场的领先光罩供应商的优势相结合,旨在将NIL确立为光电制造的行业标准生产工艺,并加快在HVM中实施该技术,以支持各种应用。 这些应用包括增强/混合/虚拟现实头盔、智能手机、汽车传感器和医疗成像系统。

作为此次非独家合作的一部分,EVG和Toppan Photomask将结合他们各自的知识、专长和服务,利用Toppan Photomask提供的主模板和EVG提供的设备和工艺开发服务,提供NIL开发工具包,以进一步推广NIL技术并提高将该技术应用于工业生产的可能性。 此外,EVG将在其位于奥地利总部的EVG NILPhotonics®能力中心,面向感兴趣的公司提供NIL技术和产品演示。 此外,对于有意在生产过程中使用NIL技术的企业,这两家公司都会将对方指定为推荐的供应链合作伙伴。

Toppan Photomask Co. Ltd.首席技术官全灿旭(Chan-Uk Jeon)表示:“Toppan Photomask非常高兴能与EVG合作。 EVG的NIL技术具有世界级工装和加工能力,将提高光电和其他可与NIL技术配合使用的新技术的成本效益。 Toppan Photomask认为,两家公司都具有显著的优势,在此推动下,NIL技术有着良好的发展前景,有望成为另一种成功的光刻解决方案。 ”

将纳米压印光刻技术引入主流制造业

在需要创建任意形状的小图案(如超构透镜)的未来应用方面,传统的光刻技术已达到了极限。 NIL是一种公认且具有成本效益的工艺,可在复杂的结构上生成纳米级分辨率的图案,因此是这些应用的可行替代方案。 NIL可以非常有效地大面积复制这些复杂的结构,设计限制较少,且工艺流程非常精简,因此非常适用于原型设计和HVM。

20多年来,EVG一直是NIL技术领域的开创者,通过与光学材料(如粘合剂和抗蚀剂)、基板材料和印章生产供应商,以及光学元件和设备制造商等整个NIL供应链中的企业合作,帮助打造了更广泛的NIL生态系统。 EVG和Toppan Photomask分别是光刻和光罩制造领域的知名行业领导者,两家公司通过合作,打算将NIL作为光电行业的主流HVM技术加以推广。

EV Group企业技术开发和知识产权总监Markus Wimplinger称:“我们很高兴与Toppan Photomask合作,将纳米压印光刻技术引入主流制造应用。 作为以最高质量标准著称的领先半导体光罩供应商,Toppan Photomask在使用满足全球最严格生产要求的标准化生产方法方面拥有丰富的经验。 此次是纳米压印工艺设备和服务提供商与纳米压印母版生产商之间的首次合作,对行业来说是一次巨大的胜利,我们将透过合作,帮助我们的客户迅速扩大NIL应用,使之成为先进光学设备和组件的批量生产技术,帮助他们将新的’虚拟’想法变为现实。 ”

即将举行的纳米压印行业活动

两家公司的专家将出席9月19日至23日在比利时鲁汶Gasthuisberg学术园区举行的Micro and Nano Engineering (MNE) Eurosensors 2022 Conference大会,并在会上对此次合作进行讨论。 与会者可参观EVG的S8号展位,以获取更多信息。

此外,EVG的Christine Thanner将出席于10月5日在日本富山举行的纳米压印和纳米印刷技术(NNT)会议,并将在全体大会上发表题为 “纳米压印—从小众到大批量生产”的特邀演讲,届时她将阐述拥有匹配的NIL母版制造技术、复制设备和工艺组合的重要性。

NILPhotonics能力中心:灵活的合作模式

EVG的NILPhotonics能力中心为整个NIL供应链中的客户和合作伙伴提供开放的创新孵化器,让他们可以透过合作,缩短创新光电设备和应用的开发周期和上市时间。 该中心高度灵活,可满足客户的不同需求,同时确保为开发过程中的每个环节提供最高水平的IP保护。 净室旨在满足最严格的客户要求,并实现虚拟生产线概念,即将晶圆重新引入客户的晶圆厂,以对其进行进一步加工。
Toppan Photomask简介

Toppan Photomask Co., Ltd. (TPC)是全球首屈一指的半导体光罩供应商。 TPC总部设在东京,于2022年4月从Toppan Inc.分拆出来,后者是通信、安全、包装、装饰材料和电子解决方案领域的多元化全球领导者。 TPC旗下公司包括总部位于美国的Toppan Photomasks Inc.和总部位于台湾的中华凸版电子股份有限公司,TPC利用其全球客户服务网络和位于主要地理位置的七个生产基地,提供世界上最先进的技术。 TPC还将其业务扩展到模板掩模和纳米压印模具等硅产品领域,以促进智能手机、人工智能和5G等行业领先产品的进一步发展。 欲了解更多信息,请参考 https://www.photomask.co.jp/english/。

EV Group (EVG)简介

EV Group(简称EVG)是为半导体、微机电系统(MEMS)、化合物半导体、功率器件和纳米器件制造提供设备和工艺解决方案的领先供应商。 公司的主要产品包括晶圆键合、薄晶圆加工、光刻/纳米压印光刻(NIL)、计量设备、光刻胶涂布机,以及清洁和检测系统。 EVG成立于1980年,为世界各地的全球客户和合作伙伴提供服务和支持。

消息来源: Toppan Photomask